Ionenbestrahlung bezeichnet die gezielte Einwirkung energiereicher Ionen auf Festkörper, wodurch atomare Verschiebungen, Defekte, Dotierungen und Phasenumwandlungen erzeugt werden. Sie dient zur Modifikation mechanischer, elektrischer und optischer Eigenschaften, zur Strahlenschadenssimulation in Kernwerkstoffen und zur Tiefenprofilierung mittels Ionenstreuspektroskopie. Prozessparameter wie Energie, Dosis und Ionenart steuern Defektdichte und Tiefenverteilung.