Bevorzugte Routen, entlang derer Atome, Ionen oder Defekte in einem Festkörper diffundieren, z. B. durch das Volumen, entlang Korngrenzen, Phasengrenzen, Versetzungen oder durch offene Kanäle in Kristallgittern. Diffusionspfade unterscheiden sich in Aktivierungsenergie und Diffusionskoeffizient und bestimmen Kinetik von Phasenumwandlungen, Kriechverhalten, Korrosionsprozessen und Ionenleitung in Batteriematerialien.