Elektronenstrahlbestrahlung nutzt hochenergetische Elektronen, um in Werkstoffen Ionisation, Strahlenschäden und Defektbildung zu erzeugen. Sie dient zur Mikrostrukturmodifikation, Vernetzung von Polymeren, Sterilisation sowie zur In-situ-Beobachtung in Elektronenmikroskopen. Strahlendosis, Energie und Atmosphäre steuern Versprödung, Phasenumwandlungen und Strahlungsalterung von Werkstoffen.