Sensorherstellung umfasst alle prozessierten Schritte zur Realisierung funktionaler Sensorelemente, von Substratvorbereitung, Dünn- und Dickschichtdeposition, Strukturierung und Dotierung bis zu Packaging und Kalibrierung. Werkstoffwissenschaftlich sind Grenzflächen, Mikrostruktur, Defekte und Alterungsmechanismen der aktiven Schichten entscheidend für Empfindlichkeit, Selektivität, Driftverhalten und Langzeitstabilität unter Einsatzbedingungen.