Versetzungsvernichtung bezeichnet den Prozess, bei dem Versetzungen durch Rekombination entgegengesetzt orientierter Versetzungslinien, Aufstiegs- und Kreuzgleitmechanismen oder Wechselwirkung mit Defektwolken eliminiert werden. Sie reduziert die Versetzungsdichte und beeinflusst Erholung, Rekristallisation sowie Kriech- und Ermüdungsverhalten von Metallen und Legierungen. Thermische Aktivierung, Spannungszustand, Versetzungsstruktur und Legierungselemente steuern die Effizienz dieser annihilierenden Vorgänge.