FIB/REM-Serienschnitt kombiniert fokussierten Ionenstrahl (FIB) zum sequentiellen Abtragen dünner Schichten mit rasterelektronenmikroskopischer Bildgebung. Durch automatisiertes Schneiden und Aufnehmen entsteht ein dreidimensionaler Datensatz der Mikrostruktur mit nanometergenauer Auflösung. Daraus lassen sich 3D-Verteilungen von Phasen, Poren, Ausscheidungen oder Defekten rekonstruieren, was für Gefügeanalyse, Volumen-EBSD und die Parametrisierung von 3D-Mikrostrukturmodellen essenziell ist.