Präparationsartefakte wie Kratzer, Oberflächenverformung und Verschmierungen sind durch das konventionelle Schleifen und Polieren oft nur schwer zu beseitigen.

Das Vibrationspolieren ist ein mechanisches und sehr schonendes Polierverfahren. Mit diesem finalen Präparationsschritt lassen sich Schliffoberflächen verformungsfrei abtragen. Die Eignung der Probenoberfläche für weiterführende rasterelektronenmikroskopische Untersuchungen wie z.B. EBSD-Messungen wurde in Abhängigkeit verschiedener mechanisch bzw. chemisch-mechanischer Präparationsschritte untersucht.