Siliziumoxikarbid ist ein amorpher, Si-, O- und C-haltiger keramischer Werkstoff, typischerweise aus polymeren Precursoren durch Pyrolyse gewonnen. Seine Netzwerkstruktur besteht aus Si–O–C-Bindungen mit variablen SiC- und SiO2-artigen Domänen. Er zeigt hohe thermische Stabilität, Oxidations- und Kriechbeständigkeit sowie einstellbare elektrische Eigenschaften. In der Werkstoffwissenschaft ist er relevant für Hochtemperaturverbunde, Schutzschichten, MEMS-Komponenten und elektrochemische Anwendungen.