Plasmabehandlung nutzt ionisierte Gase, um Oberflächen durch Sputtern, Ätzen, Aktivierung oder Beschichtung zu modifizieren. Energie- und Teilchenflüsse steuern chemische Funktionalisierung, Rauigkeit, Benetzbarkeit, Haftung und Grenzflächenreaktionen. In der Werkstoffwissenschaft wird sie zur Reinigung, Haftvermittlererzeugung, Dünnschichtabscheidung und zur Erzeugung gradierter Randzonen eingesetzt.