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Plasma in der Werkstoffforschung und -technik

Plasmabehandlung

Plasmabehandlung nutzt ionisierte Gase, um Oberflächen durch Sputtern, Ätzen, Aktivierung oder Beschichtung zu modifizieren. Energie- und Teilchenflüsse steuern chemische Funktionalisierung, Rauigkeit, Benetzbarkeit, Haftung und Grenzflächenreaktionen. In der Werkstoffwissenschaft wird sie zur Reinigung, Haftvermittlererzeugung, Dünnschichtabscheidung und zur Erzeugung gradierter Randzonen eingesetzt.

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