Sauerstoffvakanzien sind punktförmige Gitterdefekte in Oxiden, bei denen Sauerstoffgitterplätze unbesetzt sind und Ladungskompensation durch Elektronen oder andere Defekte erfolgt. Sie beeinflussen ionische und elektronische Leitfähigkeit, Diffusion, chemische Reaktivität und Phasenstabilität und sind zentral für Funktionalitäten in Festoxidbrennstoffzellen, Membranen, Widerstandsschaltelementen, Katalysatoren sowie ferroelektrischen und multiferroischen Oxiden.