Röntgen-Linienprofilanalyse wertet die Form und Breite von Beugungsreflexen aus, um Versetzungsdichte, Korngrößen, Mikrospannungen und Stapelfehler in Kristallen zu bestimmen. Durch Modellierung von Instrumentenbeitrag und physikalischer Linienverbreiterung liefert sie quantitative Mikrostrukturdaten und ergänzt Elektronenmikroskopie bei der Charakterisierung von Verfestigungsmechanismen und Texturentwicklung.