Chemische Gasphaseninfiltration ist ein CVD-Verfahren, bei dem poröse Preforms mit reaktiven Gasen durchströmt werden, die in den Poren zersetzen und Feststoff abscheiden. So entstehen Faserverbund- oder poröse Keramikwerkstoffe mit definierter Porosität und Mikrostruktur, etwa C/SiC- oder C/C-SiC-Komposite. Prozessführung, Temperatur- und Druckprofile steuern Infiltrationskinetik, Faser-Matrix-Grenzfläche und Defektbildung.