Elementaranalyse im Spurenbereich umfasst die quantitative Bestimmung von Elementkonzentrationen bis hin zu Ultra-Spuren. In der Werkstoffwissenschaft kommen Techniken wie ICP-MS, ICP-OES, TXRF oder Neutronenaktivierungsanalyse zum Einsatz. Sie erlauben die Kontrolle von Legierungsgehalten, Verunreinigungen und Dotierungen, welche Korrosionsverhalten, mechanische Eigenschaften und elektronische Funktionalität maßgeblich beeinflussen.