Aluminiumscandium-Nitrid ist ein piezo- und pyroelektrisches Material, das durch Legierung von AlN mit ScN eine erhöhte piezoelektrische Koeffizienten sowie teilweise ferroelektrisches Verhalten zeigt. Die veränderte Kristallstruktur ermöglicht hohe elektromechanische Kopplung in Dünnschichten. In der Werkstoffwissenschaft ist AlScN ein Schlüsselmaterial für RF-Filter, Resonatoren, MEMS-Aktoren sowie nichtflüchtige ferroelektrische Speicher auf CMOS-kompatiblen Substraten.