FIB-Probenpräparation nutzt einen fokussierten Ionenstrahl, meist Ga⁺, zum lokalen Abtragen und Ausdünnen von Material für hochauflösende Analysen. Sie ermöglicht die Herstellung von TEM-Lamellen, nadelförmigen Atomsondenproben oder definierten Querschnitten mit nanometergenauer Positionierung. Schutzschichten, Strom- und Spannungsoptimierung sowie gegebenenfalls Niedrigenergie-Politur minimieren Strahlenschäden und Artefakte, um die ursprüngliche Mikrostruktur möglichst unverändert darzustellen.