Die Charakterisierung nanoskaliger Gebiete in heutigen und künftigen mikroelektronischen Bauelementen erfordert spezifische Sonden mit maßgeschneiderten Eigenschaften im Nanobereich. Spitzen für die Rastersondenmikroskopie (SPM) werden nicht nur für die Topographie-Abbildung in der Rasterkraftmikroskopie (AFM), sondern auch für elektrische, thermische und optische Untersuchungen mikroelektronischer Bauelemente eingesetzt. Für besondere Anwendungen wie die Nano-Raman-Spektroskopie oder Leitfähigkeits-AFM werden sehr gut reproduzierbare Metallspitzen oder metallisch beschichtete Spitzen benötigt. In der vorliegenden Arbeit werden neue Verfahren zur maßgeschneiderten Herstellung solcher Spitzen durch Materialbearbeitung mit dem fokussiertem Ionenstrahl (FIB) und zur Charakterisierung der Spitzen mit AFM-Verfahren unter Verwendung definierter Kalibrierstrukturen beschrieben. Auf der Grundlage eines numerischen Verfahrens wird die Qualität der Spitzen charakterisiert. Die dargestellten Präparations- und Kalibrier-Verfahren bieten neue Möglichkeiten für den Routineeinsatz nanoskaliger Bauelemente, der beispielsweise für moderne SPM-Verfahren und Nanosensoren benötigt wird.