In den vergangenen 20 Jahren hat sich die Atomsondentomographie von einer Nischenanwendung in der physikalischen Metallurgie zu einem fest etablierten Verfahren in weiten Teilen der Werkstoffwissenschaften und darüber hinaus entwickelt. Die Gründe hierfür liegen sowohl in der Verbesserung der Instrumente als auch der Probenpräparation. Durch die Verfügbarkeit der Geräte stellt nun eine erfolgreiche Probenpräparation oft den kritischsten Punkt bei Atomsondenuntersuchungen dar. Mit diesem Artikel soll ein Überblick über die unterschiedlichen zur Verfügung stehenden Präparationsmethoden gegeben und deren Herausforderungen diskutiert werden. Dies umfasst das einfache Elektropolieren als vorherrschendes Verfahren bis hin zur Einführung der Präparation mittels fokussiertem Ionenstrahl vor etwa 25 Jahren. Heute entfällt der größte Anteil wahrscheinlich auf Präparationsmethoden mittels fokussiertem Ionenstrahl, da sie eine ortsspezifische Probenpräparation, die Untersuchung von nicht-leitfähigen Proben und meist einen höheren Durchsatz ermöglichen. Durch kontinuierliche Verbesserungen wie z. B. durch Hochstrom-Plasma-Ionensäulen, die Kryo-Präparation von empfindlichen Werkstoffen und von Stoffen, die bei Raumtemperatur flüssig sind, sowie „additiven“ Verfahren für Nanomaterialien lässt sich das Spektrum von Werkstoff