Die Röntgenphotoelektronenspektroskopie (XPS) ist eine Oberflächenanalysemethode, die die Elementzusammensetzung und den chemischen Zustand von Materialien durch Messung emittierter Photoelektronen bestimmt. Diese Technik ist unerlässlich für die Untersuchung von Oberflächenmodifikationen und nanostrukturierten Schichten.