Lecture
Schubert, T. (Speaker)¹; Reisacher, E.¹; Kaya, P.¹; Knoblauch, V.¹; Bernthaler, T.¹; Schneider, G.¹
25.09.2024
MSE 2024
FIB-Tomographie nutzt einen fokussierten Ionenstrahl zum sequenziellen Abtragen dünner Materialschichten, während nach jedem Abtrag SEM-Aufnahmen erzeugt werden. Aus dem Bildstapel wird ein 3D-Volumen rekonstruiert. Die Methode erlaubt nanoskalige, ortsaufgelöste Analyse von Mikrostrukturen, Poren, Phasenverteilungen und Defekten sowie Korrelation mit mechanischen oder funktionellen Eigenschaften.
Frisch eingestellt
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