FIB-SEM Tomographie kombiniert fokussierten Ionenstrahl zum seriellen Abtragen dünner Schichten mit hochauflösender Rasterelektronenmikroskopie. Durch sequentielle Bildaufnahme und 3D-Rekonstruktion werden die dreidimensionale Mikrostruktur, Phasenverteilung, Poren- und Rissnetzwerke mit Nanometerauflösung erfasst. In der Werkstoffwissenschaft erlaubt die Methode quantitative Analysen von Korngrenzen, Elektrodenmikrostrukturen, Funktionsschichten und Defekten in Volumenbereichen.