In situ-SEM bezeichnet Rasterelektronenmikroskopie, bei der während der Beobachtung externe Stimuli wie mechanische Last, Temperaturänderung, elektrische oder chemische Felder angelegt werden. Spezialisierte Probenhalter ermöglichen Zug-, Druck-, Kriech-, FIB- oder Korrosionsversuche. Dies erlaubt die direkte Korrelation von Mikrostrukturentwicklung, Rissausbreitung, Phasenumwandlungen oder Diffusionsprozessen mit den gleichzeitig aufgeprägten Randbedingungen.