Mikrofertigung umfasst Prozesse zur Herstellung von Strukturen im Mikro- bis Submikrometerbereich, etwa Lithographie, Ätzen, Galvanoformung, LIGA und Mikro-3D-Druck. In den Materialwissenschaften erlaubt sie die gezielte Einstellung von Geometrie, Mikrostruktur und funktionalen Gradienten in Mikroaktoren, Sensoren, MEMS und mikrofluidischen Systemen. Werkstoffauswahl und Prozessbedingungen bestimmen Defekte, Spannungen und Zuverlässigkeit.