Dampftransportäquilibration beschreibt die Einstellung eines thermodynamischen Gleichgewichts zwischen kondensierter Phase und Gasphase durch Transport flüchtiger Spezies im Dampf. In der Materialwissenschaft wird sie zur kontrollierten Kristallzucht, Zonenschmelz- und Halbleiterprozessen genutzt, wobei Temperaturgradienten und Partialdrücke die Zusammensetzung, Defektkonzentration und Morphologie der Festphase steuern.