Kathodische Lichtbogenverdampfung ist ein PVD-Verfahren, bei dem ein niederohmiger Lichtbogen auf einer metallischen Kathode ein hochionisiertes Plasma erzeugt. Kationen werden beschleunigt und auf Substraten als dichte Schichten abgeschieden. Charakteristisch sind hohe Abscheideraten, starker Energieeintrag und Tröpfchenbildung. Durch reaktive Gase lassen sich Hartstoffschichten (z.B. TiN, CrN) mit feiner Mikrostruktur und guter Haftung erzeugen.