Glühentladung ist ein selbst erhaltener Niederdruckplasmaentladungstyp, bei dem Ionen und Elektronen in einem Gas zwischen Elektroden beschleunigt und ionisierende Stöße erzeugen. In der Analytik dient sie als Oberflächenabtragungsquelle für Glühentladungs-Optische-Emissions- oder Massenspektrometrie. Sie ermöglicht Tiefenprofilierung, Schichtdickenbestimmung und homogene Bulk-Analyse von Metallen, Legierungen und Schichtsystemen mit geringer Probenvorbereitung.