Glühentladung ist ein Plasmaprozess, bei dem ein leuchtendes Plasma zur Materialanalyse oder Oberflächenreinigung verwendet wird. In der Werkstoffwissenschaft wird diese Technik häufig mit Massenspektrometrie gekoppelt, um elementare Zusammensetzungen und Oberflächenstrukturen in dopierten und unlegierten Materialien zu untersuchen.