Grenzflächenanalyse untersucht chemische, strukturelle und mechanische Eigenschaften von Phasengrenzen, z.B. in Verbunden, Dünnschichten oder Korngrenzen. Methoden wie TEM, XPS, ToF‑SIMS oder Nanoindentierung charakterisieren Zusammensetzung, Bindungszustände, Spannungszustände und Adhäsion. Diese Grenzflächen steuern Diffusion, Rissausbreitung, Korrosion, elektrische Kontakteigenschaften und damit das Gesamtverhalten von Werkstoffen.