EDX-Analysen (Energy-Dispersive X-ray Spectroscopy) bestimmen mittels röntgeninduzierter charakteristischer Strahlung die lokale chemische Zusammensetzung. In der Materialwissenschaft wird EDX typischerweise im Raster- oder Transmissionselektronenmikroskop eingesetzt, um Elementverteilungen, Phasenabgrenzungen, Segregationen, Diffusionsprofile und Verunreinigungen von der Mikro- bis zur Nanometerskala quantitativ oder semiquantitativ zu erfassen.