Ätzen bezeichnet das kontrollierte Abtragen von Material mittels chemischer oder elektrochemischer Reaktionen, um Mikrostrukturen sichtbar zu machen oder gezielt zu strukturieren. In der Metallographie werden Korngrenzen und Phasen durch selektives Angreifen der Oberflächenenergie-Kontraste herausgearbeitet. In der Mikro-/Nanofabrikation dienen isotrope oder anisotrope Ätzprozesse zur Erzeugung definierter Geometrien und Funktionsoberflächen.