EBSD (Rückstreuelektronenbeugung) ist eine SEM-basierte Beugungsmethode zur ortsaufgelösten Bestimmung von Kristallorientierung, Phasen und Gitterverzerrungen. Elektronen, die in einem flach angelegten Probenquerschnitt rückgestreut werden, erzeugen Kikuchi-Muster, aus denen Orientierungs- und Phasenkarten rekonstruiert werden. In der Werkstoffwissenschaft ist EBSD zentral für Texturanalyse, Korngrenzcharakterisierung und Deformationsmikromechanik.