EBSD nutzt Rückstreuelektronen im SEM zur Erzeugung von Kikuchi-Patternen, aus denen Kristallorientierung, Gefügegrenzen, Textur und Phasenzuordnung auf Mikro- bis Submikrometermaßstab bestimmt werden. Die Technik erfordert polierte, oft elektrolytisch geglättete Proben und liefert quantitative Orientierungsdaten für Korngrößenanalyse, Verformungsstudien und Rekonstruktion plastischer Verformung. Räumliche Auflösung und Präzision hängen von Probe und Detektorkonfiguration ab.