Chemische Ätzung ist ein nasschemisches Verfahren zur kontrollierten Materialabtragung durch selektive chemische Reaktion eines Ätzmittels mit der Oberfläche. In der Mikro- und Nanostrukturierung von Metallen, Halbleitern und Keramiken ermöglicht sie Strukturdefinition, Rauheits- und Kornfreilegung sowie Phasenkontrast. Ätzrate, Selektivität und Isotropie werden durch Chemie, Temperatur und Zeit gesteuert und sind entscheidend für Reproduzierbarkeit und Bauteilintegrität.