Eigenverzerrungen sind inelastische, oft plastische oder transformationsbedingte Verzerrungen, die ohne äußere Last in einem Werkstoff entstehen, z.B. durch Phasenumwandlungen, Ausscheidungen, Temperaturgradienten oder Diffusion. Sie erzeugen innere Spannungsfelder, beeinflussen Versetzungsbewegung, Rissausbreitung und Dimensionstoleranzen. Kontinuums- und mikromechanische Modelle koppeln Eigenverzerrungen mit Gesamtverzerrung und Eigenspannungen.