Dünnfolien sind freistehende oder auf Substraten getragene Schichten mit typischen Dicken im Nano- bis Mikrometerbereich. Sie werden durch Abscheideverfahren wie PVD, CVD oder Elektroplattieren hergestellt und dienen als funktionale Werkstoffe in Mikroelektronik, Sensorik, Schutzschichten und Membranen. Mechanische Stabilität, Restspannungen, Grenzflächenhaftung und Mikrostruktur sind zentrale Designparameter.
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