Zielvorbereitung

Zielvorbereitung bezeichnet die Herstellung und Konditionierung von Targets für Beschichtungsprozesse wie Sputtern oder Laserablation. Sie umfasst Pulveraufbereitung, Formgebung, Sintern oder Schmelzen, Legierungs- und Phasenanpassung, Entgasung sowie Oberflächenbearbeitung. In der Werkstoffwissenschaft ist eine definierte Dichte, Homogenität, Reinheit und Mikrostruktur des Targets entscheidend für Schichtrate, Zusammensetzung, Defektstruktur und Reproduzierbarkeit dünner Funktionsschichten.