Dünnschichtwerkstoffe sind Schichten mit typischer Dickenordnung von wenigen Nanometern bis Mikrometern, die auf Substraten abgeschieden werden. Sie zeigen eigenschaftsbestimmende Grenzflächen-, Quantisierungs- und Spannungsphänomene. In der Werkstoffwissenschaft stehen Abscheideprozesse, Schichtadhäsion, Defekte, Diffusion und Alterung im Fokus. Anwendungen umfassen Mikroelektronik, Optik, Barriere-, Verschleiß- und funktionale Beschichtungen.