Physikalische Dampfphasenabscheidung ist ein vakuumgestütztes Verfahren zur Herstellung dünner Filme, bei dem Materialdampfe kondensieren und sich auf Substraten ablagern. Dieses Verfahren ermöglicht die präzise Kontrolle über Filmdicke und -struktur und ist weitreichend in der Mikroelektronik, Optik und Beschichtungstechnologie etabliert.