Bezeichnet die Dehnung oder Stauchung eines epitaktisch gewachsenen Dünnfilms infolge Gitterfehlanpassung zum Substrat. Sie beeinflusst elektronische Struktur, Phasenstabilität, ferroelektrische, ferro- und antiferromagnetische sowie mechanische Eigenschaften. Durch kontrollierte Verzerrung lassen sich funktionale Eigenschaften gezielt einstellen, etwa in Oxidheterostrukturen und Halbleitern.