Bezeichnet massenspektrometrische Verfahren, bei denen Stickstoffplasmen zur Ionenerzeugung eingesetzt werden, etwa in induktiv gekoppelten oder Mikrowellenplasmen. Sie ermöglichen Element- und Isotopenanalytik mit verringertem Argonverbrauch und modifizierten Plasmachemismen. In der Werkstoffanalytik werden sie zur Spurenelementbestimmung, Prozessgasüberwachung und Untersuchung stickstoffhaltiger Spezies eingesetzt, häufig kombiniert mit Chromatographie oder Laserablation.