Direktes Laserschreiben

Direktes Laserschreiben ist ein maskenloses, fokussiertes Laserlithografie-Verfahren zur additiven oder subtraktiven Mikro- und Nanostrukturierung. Durch präzise Steuerung des Laserfokus, oft mittels Mehrphotonenabsorption in Fotolacken oder Glas, lassen sich dreidimensionale Gerüste, Metamaterialien und photonische Strukturen für funktionale Werkstoffe und Mikrogeräte erzeugen.