KOH-Ätzung nutzt alkalische Kaliumhydroxid-Lösungen zur anisotropen Auflösung kristalliner Materialien, insbesondere Silizium. Die Ätzraten sind stark orientierungsabhängig, wodurch definierte Mikrostrukturen mit {111}-Begrenzungsflächen erzeugt werden. In der Werkstoffwissenschaft wird KOH-Ätzung zur Textur- und Defektfreilegung, zur Porosifizierung, für Mikrosensoren und zur Oberflächenreinigung eingesetzt; Prozesskinetik und Maskenstabilität sind entscheidende Parameter.