Super-Auflösung bezeichnet Bildgebungsmethoden, die die klassische Beugungsgrenze optischer oder elektronenoptischer Systeme unterschreiten, etwa durch rechnergestützte Rekonstruktion, spektrale Entfaltung oder spezielle Beleuchtungs- und Detektionsschemata. In der Werkstoffwissenschaft ermöglicht sie die Darstellung atomarer oder subnanometrischer Defekte, Grenzflächen und Segregationen aus begrenzt aufgelösten Messdaten, z.B. in EDX, EELS oder Tomografie.