Oberflächenakustische Wellen sind elastische Wellen, die sich entlang einer Festkörperoberfläche ausbreiten und deren Amplitude exponentiell in die Tiefe abnimmt. In der Werkstoffwissenschaft werden sie zur zerstörungsfreien Prüfung, für sensorische Anwendungen und für die Manipulation von Partikeln und Flüssigkeiten in SAW-Bauelementen genutzt. Ihre Dispersion und Dämpfung sind empfindlich gegenüber Elastizitätsmodul, Spannungszustand, Defekten und Schichtsystemen.