Stöchiometrisch bezeichnet das exakte, durch chemische Zusammensetzung vorgegebene Mengenverhältnis der Elemente in einer Phase oder Verbindung. In Werkstoffen entspricht dies z.B. intermetallischen Phasen mit fester Formel, idealen Keramiken oder stöchiometrischen Oxiden. Abweichungen (Nichtstöchiometrie) beeinflussen Defektkonzentrationen, Diffusion, elektrische Leitfähigkeit und Phasenstabilität.