Barriere-Beschichtungen sind dünne Schichten, die Diffusion oder Permeation von Atomen, Ionen oder Molekülen wie O₂, H₂O oder Korrosionsspezies begrenzen. Sie basieren auf dichten anorganischen Oxiden, Nitriden oder polymeren Schichten mit optimierter Morphologie und Adhäsion. In der Werkstofftechnik schützen sie Substrate vor Korrosion, Oxidation, Degradation oder Gasdurchtritt und verlängern die Lebensdauer.