Hochauflösende STEM kombiniert rasternde Transmissionselektronenmikroskopie mit atomarer Auflösung und Z-Kontrast (ADF-STEM), um Gitterebenen, Versetzungen, Grenzflächen und chemische Inhomogenitäten direkt abzubilden. Durch simultane EELS- und EDX-Spektroskopie können lokale elektronische Strukturen und Elementverteilungen erfasst werden. Dies ermöglicht korrelative Analysen zwischen Mikrostruktur und Werkstoffeigenschaften im Nanometerbereich.