Elektronenbeugung ist eine Beugungsmethode, bei der kohärente Elektronenstrahlen an periodischen Atomgittern gestreut werden und Beugungsbilder liefern. Sie ermöglicht die Bestimmung von Kristallstruktur, Gitterparametern, Orientierungen, Spannungen und Defekten mit hoher Ortsauflösung. Varianten wie SAED, CBED und EBSD sind zentrale Werkzeuge der Mikrostrukturanalyse in der Transmission- und Rasterelektronenmikroskopie.