Ultraschallatomisierung ist die Zerstäubung von Flüssigkeiten durch hochfrequente Schallwellen, die Kapillarwellen an der Oberfläche erzeugen und Tröpfchen ablösen. In der Werkstofftechnik wird sie zur Pulverherstellung und für Funktionsschichten eingesetzt, da sie enge Tröpfchengrößenverteilungen, schonende Prozessführung, hohe Reinheit und gute Steuerbarkeit der Partikel- oder Schichtmorphologie ermöglicht.