Plasmadynamik

Plasmadynamik beschreibt das kollektive Verhalten ionisierter Gase unter dem Einfluss elektrischer und magnetischer Felder. In der Werkstoffwissenschaft ist sie zentral für Plasmaprozesse wie Sputtern, PECVD oder Plasmanitrieren. Gekoppelte Transport-, Wellen- und Instabilitätsphänomene bestimmen Energie- und Teilchenflüsse zur Oberfläche und damit Schichtwachstum, Mikrostruktur, Defektbildung und chemische Modifikation von Werkstoffen.

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