Elektronenrückstreubeugungs-Diffraktion (EBSD)

Elektronenrückstreubeugungs‑Diffraktion ist eine Technik im SEM zur Bestimmung kristallographischer Informationen über die Probeoberfläche. Aus Kikuchi‑Mustern werden Orientierung, Textur und lokale Phasenverteilung abgeleitet. Die Methode ist wichtig für Korngrenzenanalyse und Mikrostruktur‑Charakterisierung; Präparation, Detektorwinkel und Beschleunigungsspannung beeinflussen die Datenqualität.