Elektronenrückstreubeugungs‑Diffraktion ist eine Technik im SEM zur Bestimmung kristallographischer Informationen über die Probeoberfläche. Aus Kikuchi‑Mustern werden Orientierung, Textur und lokale Phasenverteilung abgeleitet. Die Methode ist wichtig für Korngrenzenanalyse und Mikrostruktur‑Charakterisierung; Präparation, Detektorwinkel und Beschleunigungsspannung beeinflussen die Datenqualität.