Induktiv gekoppeltes Plasma ist ein durch ein hochfrequentes elektromagnetisches Feld in einem Gas erzeugtes Plasma, bei dem die Energie primär induktiv übertragen wird. Es zeichnet sich durch hohe Elektronendichten, relativ niedrige Wandtemperaturen und gute Reinheit aus. In der Werkstoffwissenschaft wird ICP für Atomemissionsspektrometrie, Massenspektrometrie, Beschichtungsprozesse und Plasmaätzen eingesetzt, um Spurenelemente zu analysieren oder Oberflächen gezielt zu modifizieren.