Oberflächenpassivierung bezeichnet die gezielte Modifikation von Oberflächen durch dünne Schichten oder chemische Termination, um Reaktionen wie Oxidation, Korrosion oder Rekombination von Ladungsträgern zu unterdrücken. In Halbleitern reduzieren Passivierungsschichten Grenzflächenzustände und verbessern Lebensdauer und Effizienz. In Metallen und Legierungen stabilisieren passive Filme die Oberfläche thermodynamisch oder kinetisch und erhöhen Dauerhaftigkeit, Zuverlässigkeit und Funktionsbeständigkeit.